常州集中供气特气管道安装施工规范

硅烷（SiH4）的利用可以实现高纯度、超精细(可达原子尺寸)的控制和较灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料制成复杂精细的结构, 满足各种需要，这也正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。硅烷既然这么有用，那肯定不能因为它是危险性气体就不用啊，但同样安全第一，那该怎么办呢？特气系统和特气设备!他们的出现便是为了解决这种问题而专门设计出来的。以上，便是硅烷特气系统中硅烷（SiH4）的作用、特气柜的设计和气体管道要求，因为硅烷的危险特性，要选好特气设备（特气柜）和做好气体管道安装，这样无论你是否使用，你都是可以放心和安全的。感谢您的阅读！夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。常州集中供气特气管道安装施工规范

特种气体管道安装施工方案，特种气体管道安装施工方案需要考虑以下几个方面：1. 压力测试：在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。2. 吹扫和清洗：对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。3. 安全措施：在施工过程中，采取必要的安全措施，如佩戴防护用品、设置警示标志等，确保施工人员的安全和健康。4. 质量控制：对施工过程进行质量控制，确保管道的安装质量符合相关标准和要求。常州工业特气管道安装连接图焊接管子对口必须为正方并紧密连接，在对口位置所允许的圆角和倒为壁厚的十分之一。

管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。

特气管道工程安装的注意事项：1、特气管道系统的所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求，并按照标准图集中的要求制作与安装。如：①　管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上；②　应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择；③　严禁将管道支、吊架直接焊接在钢结构承重梁上，必须根据承重梁的承重系数选择合适的支、吊架固定方案才能进行施工。2、特气管道安装时，在管子对口前应检查平直度，在距离接口中心200mm处测量，①　当管子公称直径小于100mm时，允许偏差为1mm；②　当管子公称直径大于或等于100mm时，允许偏差为2mm；但全长允许偏差均为100mm。特气管道工程施工注意事项：注意特殊气体泄漏会引起中毒或爆裂的危险。

特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。宁波隐藏式特气管道安装连接图

弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。常州集中供气特气管道安装施工规范

特气管道工程安装要求：1、特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司，2、施工和验收要参照规范。特气管道工程施工注意事项：1、不选择半路进入行业，没有过多的经验的公司，2、不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准，3、避免气体管道工程系统设计不到位，4、避免出现管道经常出现问题，影响研究和工作进度。5、注意特殊气体泄漏会引起中毒或爆裂的危险。特种气体管道的施工及相关流程介绍，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。常州集中供气特气管道安装施工规范