紫外光纳米压印推荐厂家
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SmartNIL技术简介SmartNIL是基于紫外线曝光的全域型压印技术,可提供功能强大的下一代光刻技术,几乎具有无限的结构尺寸和几何形状功能。由于SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现无人能比的吞吐量,并具有显着的拥有成本的优势,同时保留了可扩展性和易于维护的操作功能。另外,主模板的寿命延长到与用于光刻的掩模相当的时间。岱美作为EVG在中国区的代理商,欢迎各位联系我们,探讨纳米压印光刻的相关知识。岱美愿意与您共同进步。SmartNIL集成了多次使用的软标记处理功能,因此还可以实现无人可比的吞吐量。
通过中心提供的试验生产线基础设施,WaveOptics将超越其客户对下个季度的预期需求,并有一条可靠的途径将大批量生产工艺和设备转移至能够大规模生产波导的指定设施适用于全球顶jiOEM品牌。WaveOptics与EVG的合作突显了其致力于以可实现的价格提供高性能,商用波导来帮助客户将AR显示器推向市场的承诺。利用EVG在批量生产设备和工艺技术方面的专业知识,到2019年,AR终端用户产品将以不到600美元的价格进入市场,这是当今行业中的较低价位。在纳米电子器件中,纳米压印可以用于制备纳米线、纳米点阵等结构,用于制备纳米级的电子器件。贵州纳米压印质量怎么样
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EVG610特征:顶部和底部对准能力高精度对准台自动楔形误差补偿机制电动和程序控制的曝光间隙支持蕞新的UV-LED技术蕞小化系统占地面积和设施要求分步流程指导远程技术支持多用户概念(无限数量的用户帐户和程序,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)敏捷处理和光刻工艺之间的转换台式或带防震花岗岩台的单机版EVG610附加功能:键对准红外对准纳米压印光刻µ接触印刷EVG610技术数据:晶圆直径(基板尺寸)标准光刻:蕞大150毫米的碎片柔软的UV-NIL:蕞大150毫米的碎片解析度:≤40nm(分辨率取决于模板和工艺)支持流程:柔软的UV-NIL曝光源:汞光源或紫外线LED光源自动分离:不支持工作印章制作:外部紫外光纳米压印推荐厂家
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