立式工业烤箱非标定制

HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸：1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架：2块3.室温+10℃-250℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：±0.5℃4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）。工业烤箱的优点体现在哪？立式工业烤箱非标定制

HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。江苏工业烤箱的工厂使用工业烤箱到底有什么好处？

质量连续炉的产品特性：1、采用智能型温度控制模块，PID自动演算，LED显示，配合SSR大功率可控硅输出，能控制温度之精细度；2、分段控制（当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管，降低加热功率，其达到省电效果）3、内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘，防生锈、耐腐蚀)，外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好)；4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制，设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制，防止失误动作；5、当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时，自动切断加热电源，起到双重保护功能。

工业烤箱在工作时，操作人员通过仪表和感温器来获得工业烤箱内部的温度值，在通过控制系统进行操作。工业烤箱的热风循环加热方式，与普通的散热加热方式相比，有着更好的气体流动性，能加快工业烤箱内物料的干燥速度。工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成，送风马达带动风轮送出冷风，冷风经过电热设备加热携带热能后经风道进入工业烤箱的烘箱工作室。工业烤箱的热风循环系统有利于提高空气温度的均匀性，在工业烤箱开关箱门运送物料的过程中，温度值会受到影响发生变动，热风循环系统的均匀性则有利于在比较大快速度内恢复工作状态的温度值。工业烤箱，有哪些好处值得选择？

下面为大家介绍一下高温无氧固化烘箱。无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。1、技术指标与基本配置：1.1使用温度：RT～260℃，极限温度：300℃；1.2炉膛腔数:2个,上下布置；1.3炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：K分度1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪；2、氧含量（配氧分析仪）：2.1高温状态氧含量：≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量2.2控温稳定度：1℃；2.3温度均匀度：2%℃（260℃平台）；真萍科技为您提供定制各种尺寸工业烤箱。杭州小型工业烤箱

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1、采用智能型温度控制模块，PID自动演算，LED显示，配合SSR大功率可控硅输出，能控制温度之精细度；2、分段控制（当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管，降低加热功率，其达到省电效果）3、内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘，防生锈、耐腐蚀)，外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好)；4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制，设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制，防止失误动作；1、双边配有链条传动，解决传送过程中跑偏的现象；2、烘箱分段式加热，单独电箱控制，方便操作，结构主要由输送机系统与烘干炉两大部分组成，多段单独；3、PID温度控制，炉内温度均匀；4、输送速度变频调速，调节自如，运行平稳，产能高；5、每段单独箱体设置废气排放接口，可外接到车间外面，避免车间废气污染。立式工业烤箱非标定制