东莞光电器件真空镀膜平台

真空镀膜机放气阀形式介绍：(1)手动真空放气阀：我国研制生产的真空镀膜机手动真空放气阀结构形式多种多样，通径有φ3mm、φ30mm、φ60mm等，以满足不同真空系统工作的需要。QF-5型充气阀主要是用来对真空容器充入大气或其他特殊气体的，此阀结构简单，操作方便，密封可靠，适合各种真空镀膜机真空应用设备配套之用。(2)手动超高真空安全放气阀：该阀采用金属密封，适用f超高真空系统，主阀板关闭．起截止气流作用，主阀板启开，可向真空系统充气，当充入气压达到105～1.5×105Pa时，旁路通导板起跳排气，避免因充气压力过高而破坏真空容器，直到保护真空系统的作用。本阀适用的介质为洁净空气或非腐蚀性干燥气体。电子束蒸发是蒸度高熔点薄膜和高纯薄膜的一种主要加热方法。东莞光电器件真空镀膜平台

真空镀膜机大功率脉冲磁控溅射技术的脉冲峰值功率是普通磁控溅射的100倍，在1000~3000W/cm2范围。对于大型磁控靶，可产生兆瓦级溅射功率。但是由于作用时间在100~150微秒，其平均功率与普通磁控溅射相当。这样就不会增加冷却要求。这里优点出来了，在1000~3000W/cm2功率密度下，溅射材料离子化率极高。但这个高度离子化的束流不含大颗粒。一般溅射材料能级只有5~10电子伏特，而大功率脉冲磁控溅射材料能级较大可达达100电子伏特。大功率脉冲磁控溅射的较大优点是可以镀高致密度的膜而不会使基体表面温度明显增高。东莞光电器件真空镀膜平台真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得明显技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为较具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用，如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保等领域。

真空镀膜机技术应用哪些领域：在建筑和汽车玻璃上使用真空电镀设备技术，镀涂一层TiO2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃。这种工艺在汽车玻璃上有比较好的应用。在太阳能上，为了能有效的利用太阳热能，这需要利用真空电镀设备技术镀上一层特殊的表面。在光学仪器中的应用：人们熟悉的光学仪器显微镜、照相机、测距仪，以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开真空电镀设备技术，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。在信息存储领域中的应用：薄膜材料作为信息记录于存储介质，有其得天独厚的优势，磁化反转极为迅速，与膜面平行的双稳态状态容易保持等。真空镀膜机在集成电路制造中的应用：晶体管路中的保护层、电极管线等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。磁控溅射方向性要优于电子束蒸发，但薄膜质量，表面粗糙度等方面不如电子束蒸发。

真空镀膜机磁控溅射镀膜是一种先进的表面装饰镀膜技术，在现今得到快速发展，先后出现了二极、三极、磁控和射频磁控溅射镀膜技术等。真空镀膜机磁控溅射镀膜目的在于降低沉积温度，减小接口脆性相，降低反应气体用量，实现自动控制，提高镀层质量。真空镀膜机磁控溅射镀膜还利用其易于调控化学成分的特点在镀层类型和结构上也取得了新的发展。真空镀膜机、真空镀膜设备磁控溅射镀膜技术它的性能比较单一，镀层TiC或者TIN有显着的提高。1978年又在上述镀层的基础上增加了化学稳定性更好的Al2O3镀层，厚度可达10mp，仍具有良好的结合力。目前磁控溅射镀膜能够制备的硬质膜种类达几十种，并能制备三层以上的多层膜和梯度膜。真空镀膜机磁控溅射镀膜技术的主要特征便是溅射沉积技术进一步完善并扩大应用范围，镀膜设备磁控溅射镀膜技术的产生，基础研究开始起步并日益受到重视。真空溅镀的镀层可通过调节电流大小和时间来垒加，但不能太厚，一般厚度在0.2~2um。东莞光电器件真空镀膜平台

磁控溅射由于其内部电场的存在，还可在衬底端引入一个负偏压，使溅射速率和材料粒子的方向性增加。东莞光电器件真空镀膜平台

在显示器件方面，录象磁头、高密度录象带以及平面显示装置的透明导电膜、摄像管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。在元件方面，在真空中蒸发镍铬，铬或金属陶瓷可以制造电阻，在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器，蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品，如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、高级床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。东莞光电器件真空镀膜平台