采用MEMS加工的微流控芯片的微加工

肠道微流控芯片（GoC）：GoC系统模仿人类肠道的生理学。它解释了肠道的主要功能，即消化、营养物质的吸收、肠神经的调节、体内废物的排泄、以及伴随微生物共生体的人体肠道的病理生理学。GoC模型主要用于精确复制具有所需微流控参数的肠道体内环境。Kim等人研究了当人类GoC被肠道微生物群落占据时肠道的蠕动运动。通过对齐两个微通道（上部和下部）来设计微型器件，该微通道雕刻在PDMS层上，该PDMS是通过基于MEMS的微纳米制造工艺制作的模板翻模制备而来，且PDMS层由涂有ECM的多孔柔性膜隔开。如图所示，该装置被模仿人类肠道生理学的人肠上皮细胞包裹。这样的系统可以模拟人类肠道在某些特定因素下的蠕动运动，即流体流速。微流控芯片的流体驱动与检测。采用MEMS加工的微流控芯片的微加工

微流控芯片,这个会通过检测血清中infection疾病的特异性抗体，有助于调查人群中疾病流行情况、监测疾病的传播的情况，并确定infected患者。研究人员开发一种高通量的微流控荧光免疫芯片，可以同时检测50份血清样本中多种COVID 19抗体，在COVID 19的前两周内，该方法的敏感度为95%、特异度为91%，对有症状患者，确诊率为100%。Dixon等推出一款用于检测风疹病毒IgG的数字微流控诊断平台，无需样品预处理且所有后续步骤都由平台自动进行。中国香港微流控芯片的加工方法微流控芯片技术用于单细胞分析。

微流控芯片（microfluidic chip）是当前微全分析系统（Miniaturized Total Analysis Systems）发展的热点领域。微流控芯片分析以芯片为操作平台, 同时以分析化学为基础，以MEMS微机电加工技术为依托,以微管道网络为结构特征,以生命科学为目前主要应用对象，是当前微全分析系统领域发展的重点。它的目标是把整个化验室的功能，包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等集成在微芯片上,且可以多次使用。包括：白金电阻芯片, 压力传感芯片, 电化学传感芯片, 声学微流控芯片，微/纳米反应器芯片, 微流体燃料电池芯片, 微/纳米流体过滤芯片等。

微流控芯片技术是生物医学应用领域的新兴工具。微流控芯片具有在不同材料（玻璃，硅或聚合物，如聚二甲基硅氧烷或PDMS，聚甲基丙烯酸甲酯或PMMA）上的一组凹槽或微通道。形成微流控芯片的微通道彼此互连以获得期望的结果。微流控芯片中的微通道的组织通过穿透芯片的输入和输出与外部相关联，作为宏观和微观世界之间的界面。在泵和芯片的帮助下，微流控芯片有助于确定微流控的行为变化。芯片内部有微流控通道，可以处理流体。微流控芯片具有许多优点，包括较少的时间和试剂利用率，除此之外，它还可以同时执行许多操作。芯片的微型尺寸随着表面积的增加而加快反应。在接下来的文章中，我们着重讨论各种微流控芯片的设计及其生物医学应用。微流控芯片技术用于基因测序。

对于微流控芯片，必须将材料从微通道中放入和取出，还要从纳升级流量的流体中获得可靠信号。一些研究者建议将微流控技术与“中等流体”结合，——以小型化的方式附加到中等尺寸的设备中，可以浓缩样品，易于检测。生物学家还受他们所使用微孔板的几何限制。Caliper和其他的一些公司正在开发可以将样品直接从微孔板装载至芯片的系统，但这种操作很具挑战性。美国Corning公司Po Ki Yuen博士认为，要说服生产商将生产技术转移到一个还未证明可以缩减成本的完全不同的平台，是极其困难的。微流控芯片技术用于毛细管电泳分离。山东微流控芯片制作流程

深入了解微流控芯片。采用MEMS加工的微流控芯片的微加工

微流控芯片是微流控技术实现的主要平台。其装置特征主要是其容纳流体的有效结构（通道、反应室和其它某些功能部件）至少在一个纬度上为微米级尺度。由于微米级的结构，流体在其中显示和产生了与宏观尺度不同的特殊性能。因此发展出独特的分析产生的性能。微流控芯片的特点及发展优势：微流控芯片具有液体流动可控、消耗试样和试剂极少、分析速度成十倍上百倍地提高等特点,它可以在几分钟甚至更短的时间内进行上百个样品的同时分析,并且可以在线实现样品的预处理及分析全过程。采用MEMS加工的微流控芯片的微加工