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采用特定的化学药液和去离子水，对圆片表面进行无损伤清洗，以去除集成电路制造过程中的颗粒、自然氧化层、有机物、金属污染、层、抛光残留物等物质。清洗机主要分为槽式清洗机和单圆片清洗机。槽式清洗技术是由美国无线电公司(RCA)于1970年提出的，它是通过多个化学槽体、去离子水槽体和干燥槽体的配合使用，完成圆片清洗工艺。随着28nm及更先进工艺的湿法清洗对圆片表面小颗粒的数量及刻蚀均匀性的要求越来越高，同时必须达到图形无损干燥。而槽式圆片清洗机的槽体内部化学药液的差异性、干燥方式，以及与圆片接触点过多，导致无法满足这些工艺需求，现已逐渐被单圆片清洗机取代，目前槽式圆片清洗机在整个清洗流程中约占20%的步骤。槽式圆片清洗机主要厂商有日本的迪恩士(SCREEN)、东京电子(TokyoElectron)和JET，三家约占全球75%以上的市场份额。韩国的SEMES和KCTECH主要供给韩国市场。单圆片清洗设机主要厂商有日本的迪恩士、东京电子和美国泛林集团提供，三家约占全球70%以上的市场份额。在国内的单圆片湿法设备厂商中，盛美半导体开发的空间交变相位移(SAPS)兆声波清洗设备和时序气穴振荡控制。中国台湾半导体设备进口服务商，有哪些半导体设备进口报关服务，进口半导体设备清关服务公司。中国台湾办理半导体设备进口报关中检服务

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2013~2017年，长川科技营收实现了由4,341万元到，复合增速达。2017年，归属母公司净利润由992万元增长至5,025万元，复合增速达。中微半导体成立于2004年，是一家微加工设备公司，经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。该公司管理层技术底蕴深厚，大多有任职于应用材料、LAM和英特尔等全球半导体前列企业的经验。中微半导体先后承担并圆满完成65-45纳米、32-22纳米、22-14纳米等三项等离子介质刻蚀设备产品研制和产业化。公司自主研发的等离子体刻蚀设备PrimoD-RIE可用于加工64/45/28纳米氧化硅、氮化硅等电介质材料，介质刻蚀设备PrimoAD-RIE可用于22nm及以下芯片加工，均已进入国内先进产线。中微半导体的介质刻蚀机已经完成了5nm的生产。晶盛机电是一家专业从事半导体、光伏设备研发及制造的****，是国内技术的晶体硅生长设备供应商。该公司专注于拥有自主品牌的晶体硅生长设备及其控制系统的研发、制造和销售，先后开发出拥有完全自主知识产权的直拉式全自动晶体生长炉、铸锭多晶炉产品。该公司立足于“提高光电转化效率、降低发电成本”的光伏技术路线。

PERC:与现有常规产线具备较高兼容性钝化发射极和背面(PassivatedEmitterandRearCell，PERC)电池技术指利用钝化材料对电池背面进行钝化，从而克服了常规电池背表面光学和电学损失，电池转换效率获得有效提升。目前，PERC已成为主流高效电池技术。PERC技术与常规电池产线具备较高兼容性，增加两道额外工序，分别为:(a)背面钝化层的沉积;(b)激光开槽。背钝化设备为PERC电池技术的关键生产设备。目前，PERC电池钝化膜沉积主要使用两种方法，分别为等离子化学气相沉积法(PECVD)与原子层沉积法(ALD)，其中PECVD占比约九成。根据设备形态的不同，PECVD沉积设备可分为板式PECVD与管式PECVD;ALD沉积设备可分为管式ALD、板式ALD、单片ALD。PECVD沉积设备与ALD沉积设备各有优势。其中，PECVD优势主要体现为一次性沉积氧化铝与氮化硅，硅片上下料工序有所减少，生产具备连续性;ALD优势主要体现为氧化铝结构缺陷小，膜厚可控(相对较薄)。竞争格局:根据设备形态划分，背钝化设备供应商主要包括:板式PECVD:海外供应商主要为MeyerBurger公司的MAIA;管式PECVD:海外供应商主要为Centrotherm公司等;国内包括无锡松煜、深圳捷佳伟创等。进口商可以选择自行报关或委托报关公司进行报关，根据自身情况选择合适的方式。

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