安徽电学温控探针台定制

什么是自动探针台，自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。从装片方式上区分，分为全自动和半自动两种。主要用于晶圆测试，晶圆尺寸：4,,6,8 ，12英寸晶圆片装卸：1个载片盒 (25 或者 26 个片槽)，连续的可编程双向加载，快速单片晶圆手动上下片，防晶圆交叉保护 XYZ- 精度：±3微米。使用环境：1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW；2. 压缩空气源：> 0.7MPa，10L/H；3. 使用环境：温度：15ºC-25ºC 相对湿度：＜70%。探针台的观测和研究任务需要具备高水平的科研和管理人才。安徽电学温控探针台定制

XY 精密工作台结构设计，由于XY 工作台需要放置于真空腔体内，XY 工作台结构越紧凑，真空腔体就越小，设备尺寸也 就相应减小。结构紧凑合理的XY 工作台有利于 降低真空腔体加工难度、减少能源浪费。XY 工作台整体处于真空腔体中，要求零部件结构密致性好，零部件材料不能逸出空气，材料表 面不能有挥发性油脂。XY 工作台需要完全暴露在特 种环境中，所有零部件均需要通过耐腐蚀、耐低温 性等试验，对于电机、丝杠、导轨等外购件，如果没 有合适的型号满足上述要求，需要对相应外购件 加装特制密封装置，使外购件与腔体内环境有效 隔绝。北京双层位移探针台探针台的建设需要对宇宙环境综合思考，并有针对性解决相关科技难题。

真空腔体密封技术，真空腔体密封技术是真空探针的关键部分， 真空腔体密封一旦在设计和加工过程中出现设计 缺陷、密封效果不好等问题，就会产生气体泄漏， 对操作人员造成人身伤害、甚至对大气环境造成 污染，这些问题在后期将无法弥补，在腔体装配前 要进行预装试验，防止类似事件发生。真空腔体采用圆形桶状，下端面与工作平台 紧密结合，上端面端盖可拆卸。选用不锈钢材料锻 造后一体加工。加工过程中合理进行材料热处理，减少加工变形。

探针台是晶圆输送与定位任务的承担者，检测半导体芯片电、光参数的关键设备。CP 测试环节中，探针台首先将晶圆移动至晶圆相机下，确定晶圆的坐标位置；再将探针相机 移动至探针卡下，确定探针卡的坐标位置，当确定二者位置后，即通过载片台将晶圆移动 至探针卡下实现对针。其按不同功能可以分为高/低温探针台、RF 探针台、LCD &TEG探针台、光电探针台等，当晶圆依次与探针接触完成测试后，探针台记录参数特性不符合要求的芯片， 并在进入后序工序前予以剔除，以保障质量与可靠性，降低器件的制造成本。探针台的设立有助于拓展对太空天体的认识。

太阳能产业探针台(Solar Cell 量测系统)；量测软体:I-V /C-V Curve, Isc, Voc,Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,Power Convert Efficiency采用KEITHLEY Source Meter可加配任意品牌之太阳光模拟器。x-y工作台的维护与保养，无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其较主要的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。探针台的运营需要专业的人员和技术支持。北京双层位移探针台

探针台能够探测人类目前尚未发现的天文现象。安徽电学温控探针台定制

滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养。相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。安徽电学温控探针台定制