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为了解决使用机器语言编写应用程序所带来的一系列问题，人们首先想到了使用助记符号来代替不容易记忆的机器指令。这种助记符号来表示计算机指令的语言称为符号语言，也称汇编语言。在汇编语言中，每一条用符号来表示的汇编指令与计算机机器指令一一对应；记忆难度**减少了，不仅易于检查和修改程序错误，而且指令、数据的存放位置可以由计算机自动分配。用汇编语言编写的程序称为源程序，计算机不能直接识别和处理源程序，必须通过某种方法将它翻译成为计算机能够理解并执行的机器语言，执行这个翻译工作的程序称为汇编程序。科学家已经研制出了橡胶机器手臂，可以抓起蚂蚁而不是捏死。东莞直销晶圆运送机械吸臂市场价

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。

东莞直销晶圆运送机械吸臂市场价尽管它们的形态各有不同，但它们都有一个共同的特点，就是能够接受指令.

    基因决定”——生长方法导致若要回答这个问题，首先要说一个大约有100余年历史的原因。。。1918年，前苏联科学家切克劳斯基（Czochralski）建立起来一种晶体生长方法——直拉式晶体生长方法，简称CZ法。硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。首先是硅砂的提纯及熔炼。这个阶段主要是通过溶解、提纯、蒸馏等一系列措施得到多晶硅。接下来是单晶硅生长工艺。就是从硅熔体中生长出单晶硅。高纯度的多晶硅放在石英坩埚中，在保护性气氛中高温加热使其熔化。使用一颗小的籽晶缓慢地从旋转着的熔体中缓慢上升，即可垂直拉制出大直径的单晶硅锭。***一步是晶圆成型。单晶硅锭一般呈圆柱型，直径从3英寸到十几英寸不等。硅锭经过切片、抛光之后，就得到了单晶硅圆片，也即晶圆。

例如：寻找，运输，握取，对准，装配，检验等动作. 为了明确地描述工业机械人，美国机械人协会在1979年将机械人定义为一个可用程式控制，多功能的操作器，它透过程式控制和多变化的动作设计来移动材料，工件，工具或特别设备，以完成一连串的工作.所以，虽然许多工业机械人并非有人的形态，但只要它们符合机械人的定义，便可以称为机械人.工业机械人虽然已被广泛应用在多种制造行业内，但估计在不久将来还会有数以十万计的工业机械人投入服务.现时，不少研究人员正为机械人研究如何加入视觉和感觉，令机械人可以完成更复杂的工作.而研究机械人的学问称为机械人学。在运动臂上加装滚动轴承或采用滚珠导轨也能使手臂运动轻快、平稳。

多功能一体化机械臂，包括机械臂主体，所述机械臂主体由设置在该机械臂主体底部的底座、设置在底座顶部的后臂及设置在后臂顶部的前臂构成的，该种多功能一体化机械臂，改进了原有产品的缺点，本实用新型多功能一体化机械臂具有成本费用较低、占地面积较小和驱动充足的特点，本机械臂*由底座、前臂和后臂构成的，实现了占地面积小的特点，且在生产过程中由于体积较小，厂家生产成本费较低，同时工人在使用时，移动较为方便，设有的安全离合器、液压器和液压室，实现了本新型机械臂驱动充足的特点，在使用过程中完全依靠程序芯片控制，液压器液压精细不会为此，手臂一般都采用刚性较好的导向杆来加大手臂的刚度.东莞直销晶圆运送机械吸臂市场价

对于工业应用来说，有时并不需要机械手臂具有完整的六个自由度.东莞直销晶圆运送机械吸臂市场价

本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。

背景技术：

在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。

技术实现要素：

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

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