陕西品质超快激光玻璃晶圆切割设备

超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备配备NCS、刀痕、崩边及切割道位置检测功能，还有数据管理、报警记录和日志管理功能，极大提高了生产效率。此外还有皮秒激光划片和纳秒激光划片等适用于各类晶圆的处理。超通智能的优势在于一些新产品的前期应用场景，比如第三代材料，碳化硅、氮化镓、砷化镓等一系列材料，几乎全部使用激光进行切割。”超通智能将晶圆切割作为切入口，希望今后业务可以覆盖封装产品激光类的全部应用，向激光晶圆制造环节上探，提供更***和质量的服务。无锡超通超快激光玻璃晶圆切割设备的特点。陕西品质超快激光玻璃晶圆切割设备

由于碳化硅自然界中拥有多态（Polymorphs），例如3C-SiC，4H-SiC，6H-SiC等，其中六方晶系的碳化硅理论上有无数种多态可能性。目前行业内选用的碳化硅多态为4H-SiC。为了获得想要的低缺陷4H-SiC，SiC晶圆通常需要以4°偏轴在种子晶格上进行晶锭生长。因此，在切割垂直晶圆平边的方向时，裂纹会与C面轴向[0001]产生4°偏角。使用普通激光切割设备进行切割时，4°的偏角会使材料裂开变得困难，从而使得**终该方向产生严重崩边（chipping）和切割痕迹蜿蜒（meandering）。天津智能制造超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍无锡超通智能的超快激光玻璃晶圆切割设备怎么样？

激光隐形切割作为激光切割晶圆的一种方案，很好的避免了砂轮划片存在的问题。如图1所示，激光隐形切割是通过将脉冲激光的单个脉冲通过光学整形，让其透过材料表面在材料内部聚焦，在焦点区域能量密度较高，形成多光子吸收非线性吸收效应，使得材料改性形成裂纹。每一个激光脉冲等距作用，形成等距的损伤即可在材料内部形成一个改质层。在改质层位置材料的分子键被破坏，材料的连接变的脆弱而易于分开。切割完成后通过拉伸承载膜的方式，将产品充分分开，并使得芯片与芯片之间产生间隙。这样的加工方式避免了机械的直接接触和纯水的冲洗造成的破坏。目前激光隐形切割技术可应用于蓝宝石/玻璃/硅以及多种化合物半导体晶圆。

晶圆切割是封装过程中十分关键的一步，因为在此过程中容易产生大的机械损伤导致严重的可靠性问题，甚至是芯片的损坏。晶圆的切割方式有多种，**传统的切割方式为刀片切割，这也是至今使用*****的一种方式。金刚石划片刀切割晶圆有多重因素会对切割质量造成影响，包括材料，切割仪器，工作环境，切割方法以及其他人为因素等。而现在采用激光切割是相对传统切割更快，质量更高的开工方式。超通智能自主研发的超快激光玻璃晶圆切割设备可以帮助企业**提升加工效率，增加产品的加工质量。超快激光玻璃晶圆切割设备的选材要求是什么？无锡超通智能告诉您。

激光功率是影响划片深度和划片宽度的主要因素，在其他参数固定不变时，划片宽度和划片深度随着激光功率的增加而增大，这是因为，紫外激光虽然属于“冷切割”，但还是存在一定的热效应，热量会积累在切割处。当激光功率一定时，晶圆受到照射的时间越长，获得的能量就越多，烧蚀现象就越严重。频率会影响激光脉冲的峰值功率和平均功率，从而对划片深度、划片宽度和划片质量均产生影响。增大频率，脉冲峰值功率会下降，但整体平均功率会上升，这相当于在划片过程中提供了更高的能量，又避免了激光功率持续输出产生的热效应累积，给热量的耗散预留了空间。超快激光玻璃晶圆切割设备有什么特点？无锡超通智能告诉您。广东销售超快激光玻璃晶圆切割设备解决方案

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主要性能参数产品型号CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波长1064 nm激光器脉宽10 ps平均峰值功率50W切割头切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩边<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平台参数平台形式XY直线电机基座高精度大理石平台加工范围400×400 mm（可定制）定位精度±3 um重复定位精度±2 um比较大速度1000 mm/sCCD工业相机600W镜头远心镜头系统属性支持文件格式DXF等常规CAD格式环境要求温度：20-30℃，湿度：<60%电力需求380V/50Hz/10KVA陕西品质超快激光玻璃晶圆切割设备

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