广州硅HJT技术

HJT异质结（Heterojunction with Intrinsic Thin-layer，HJT）电池为对称的双面结构，主要由 N 型单晶硅片衬底、正面和背面的本征/掺杂非晶硅薄膜层（包括 N 型非晶硅薄膜 n-a-Si:H、本征非晶硅薄膜 i-a-Si:H 和 P 型非晶硅薄膜 p-a-Si:H）、双面的透明导电氧化薄膜(TCO) 层和金属电极构成。其中，本征非晶硅层起到表面钝化作用，P型掺杂非晶硅层为发射层，N 型掺杂非晶硅层起到背场作用。HJT是很有潜力优势的技术，在将来HJT电池与钙钛矿技术进行复合叠层，突破转换效率30%成为可能。HJT电池的应用可以提高能源利用效率，促进可持续发展。广州硅HJT技术

HJT电池整线技术路线工艺 1.清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉积。通过CVD方式在正面/背面分别沉积5~10nm的本征a-Si:H，作为钝化层，然后再沉积掺杂层；3.正面/背面TCO沉积。通过PVD在钝化层上面进行TCO薄膜沉积；4.栅线电极。通过丝网印刷进行栅线电极制作；5.烘烤(退火)。通过丝网印刷进行正面栅线电极制作，然后通过低温烧结形成良好的接触；6.光注入。7.电池测试及分选。成都光伏HJT技术光伏HJT电池PECVD是制备PIN层的主流设备，其结构和工艺机理复杂，需要专业公司制备。

高效HJT电池整线装备，PVD优点沉积速度快、基材温升低；所获得的薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好；溅射工艺可重复性好，精确控制厚度；膜层粒子的散射能力强，绕镀性好；不同的金属、合金、氧化物能够进行混合，同时溅射于基材上；缺点：常规平面磁控溅射技术靶材利用率不高，一般低于40％；在辉光放电中进行，金属离化率较低。反应等离子体沉，RPD优点：对衬底的轰击损伤小；镀层附着性能好，膜层不易脱落；源材料利用率高，沉积速率高；易于化合物膜层的形成，增加活性；镀膜所使用的基体材料和膜材范围广。缺点：薄膜中的缺陷密度较高，薄膜与基片的过渡区较宽，应用中受到限制（特别是电子器件和IC）；薄膜中含有气体量较高。

HJT太阳能电池使用晶体硅片进行载流子传输和吸收，并使用非晶/或微晶薄硅层进行钝化和结的形成。顶部电极由透明导电氧化物（TCO）层和金属网格组成。异质结硅太阳能电池已经吸引了很多人的注意，因为它们可以达到很高的转换效率，可达26.3%，相关团队对HJT极限效率进行更新为28.5%，同时使用低温度加工，通常整个过程低于200℃。低加工温度允许处理厚度小于100微米的硅晶圆，同时保持高产量。异质结电池转换效率高，拓展潜力大，工艺简单并且降本路线清晰，契合了光伏产业发展的规律，是有潜力的下一代电池技术。釜川自主研发的“零界”高效HJT电池整线制造解决方案已实现设备国产化。

HJT整线解决商釜川，HJT（Heterojunction with Intrinsic Thin Layer）是一种新型的太阳能电池技术，相比于传统的晶体硅太阳能电池，HJT具有更高的转换效率和更低的温度系数。在寿命和可靠性方面，HJT也有一定的优势。首先，HJT的寿命较长。由于HJT采用了多层异质结构，可以有效地减少电池的光衰减和热衰减，从而延长电池的使用寿命。此外，HJT电池的材料和工艺也比较成熟，可以保证电池的稳定性和可靠性。其次，HJT的可靠性较高。HJT电池的结构简单，没有PN结，因此不会出现PN结老化和漏电等问题。同时，HJT电池的温度系数较低，可以在高温环境下保持较高的转换效率，不会因为温度变化而影响电池的性能。总的来说，HJT电池具有较长的寿命和较高的可靠性，这也是其在太阳能电池领域备受关注的原因之一。但是，HJT电池的成本较高，还需要进一步的技术改进和成本降低才能在市场上得到广泛应用。HJT电池是高效晶体硅电池的一种，具有高效率、低成本、长寿命等优势。西安HJT设备哪家好

HJT电池是一种高效、可靠、环保的能源转换技术，具有广泛的应用前景和市场前景。广州硅HJT技术

高效HJT电池整线设备，HWCVD 1、热丝化学气相沉积(HotWireCVD，HWCVD)是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来制备非晶硅薄膜，对衬底无损伤，且成膜质量非常好，但镀膜均匀性较差，且热丝作为耗材，成本较高；2、HWCVD一般分为三个阶段，一是反应气体在热丝处的分解反应，二是基元向衬底运输过程中的气相反应，第三是生长薄膜的表面反应。PECVD镀膜均匀性较高，工艺窗口宽，对衬底损伤较大。HWCVD是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来成膜，对衬底无损伤，且成膜质量好，但镀膜均匀性较差且成本较高。广州硅HJT技术