无锡激光位移传感器生产商

时间:2024年07月02日 来源:

通过将空间频率为62.5lp/mm时的MTF解析结果保持在MTFS>MTFT×10或MTFT>MTFS×10,尤其是让解析结果满足:MTFS≥0.5且MTFT<0.05、或者MTFT≥0.5且MTFS<0.05,能够让光斑在感光元件的感光单元的主要排列方向上的延伸更加明显,进一步降低成像物镜的设计难度、以及制造和维护成本;对于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物镜,通过在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃等),配合微调成像物镜与所述感光元件之间的相对距离来使得成像物镜和感光元件所组成整体的MTF值满足上述要求,能够很容易地让光斑被拉长,更加容易被感光元件所接收;无论是在工业生产、医疗诊断还是科学研究,它都发挥着巨大作用,为我们提供了准确而可靠的测量数据。无锡激光位移传感器生产商

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本发明公开了一种激光位移传感器,包括激光器、成像物镜以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件,在对成像物镜和感光元件进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值。本发明能够降低物镜的设计难度,节省制造和维护成本,另外还有助于提高测量的准确度,能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响。杨浦区激光位移传感器常用解决方案激光三角反射式测量原理基于简单的几何关系。

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随着现代化工业的发展,激光位移传感器作为高精度、高响应的非接触测量仪器,在光电技术检测领域得到了大范围的应用。其采用的激光三角法原理在理论上已相当成熟,但在实际应用中还有一定的困难。由于三角法建立在理想成像的基础之上,所以三角法能否准确实现还要依赖于所采用的光学系统。现阶段,国外此类的高精度物镜设计处于前沿水平,并拥有比较成熟的产品,但其多透镜组合与非球面的加工方式在制造成本上相当昂贵。国内对激光位移传感器光学系统的研究主要还处于实验性阶段,尚没有形成产品化。针对目前市场上对激光位移传感器的大范围需求,本文从简单实用的角度出发,利用CODEV光学设计软件对激光三角法进行实际光路模拟与优化设计,形成了一整套具有优良成像特性的光学系统,为传感器的产品化生产提供了理论依据。

在一个实施例中,激光位移传感器通过调整成像物镜6与感光元件7之间的距离,在空间频率为62.5lp/mm处,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS为量程内被测点在S方向的MTF值,MTFT为量程内被测点在T方向的MTF值,曲线1为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏离的MTFT值,曲线2为物点在子午方向和弧矢方向上都没有偏移的MTFS值;曲线3为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线4为物点在弧矢方向偏离-2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值;曲线5为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFT值;曲线6为物点在弧矢方向偏离2.1mm、在子午方向无偏离的MTFS值(其中,在弧矢方向内,向光轴以里偏离为正,向光轴以外偏离为负)。在一具体实施例中,在空间频率为62.5lp/mm处,量程内被测点的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。类似地,在采用上述方式1的情况CN10685539 1B6下,同样可以保证成像物镜的MTFT和MTFS满足这些条件。在精密测量领域中,非接触式位移技术的使用正在迅速增长。

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根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFT≥0.5,MTFS<0.05。4.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:反光元件,所述反光元件设置在所述成像物镜的出射光路上,所述成像物镜的出射光经所述反光元件反射后,入射到所述感光元件。5.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:带通滤光片,设置于所述成像物镜的入射光路上。6.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:聚焦透镜,设置于所述激光器的出射光路上。7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器,其特征在于,所述感光元件为线阵感光元件,所述线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列,该直线的延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。高精度激光位移传感器的响应速度非常快,能够实时监测目标物体的位移变化。无锡激光位移传感器生产商

它可以测量各种类型的物体,包括金属、塑料和液体等。无锡激光位移传感器生产商

2、与传统激光位移传感器相比,本发明所涉及的激光位移传感器在光学系统中,S方向的成像质量更高,进而从理论上可提高其测量精度;3、通过增加像散使线阵感光元件上的光斑信号呈现长条状态,增大光斑信号与像元之间的接触面积,进而降低机械件变形对信噪比的影响。在以上描述的实施例中,感光元件的感光单元沿着水平方向(将弧矢方向定义为水平方向)排列,将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在子午方向上的MTF值降低,而将弧矢方向上的MTF值拉高。在其他实施例中,感光元件的感光单元沿着竖直方向(将子午方向定义为竖直方向)排列,此时,可以将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在弧矢方向上的MTF值降低,而将子午方向上的MTF值拉高。这样,同样能够达到上述类似的技术效果。以上所述only为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。无锡激光位移传感器生产商

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