温州激光位移传感器找哪家
如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa激光位移传感器在工程实践中有着广泛的应用,为自动化生产线,质量检测等领域提供了高效、准确的测量方案。温州激光位移传感器找哪家
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本发明公开了一种激光位移传感器,包括激光器、成像物镜以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件,在对成像物镜和感光元件进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值。本发明能够降低物镜的设计难度,节省制造和维护成本,另外还有助于提高测量的准确度,能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响。国内激光位移传感器制造公司激光位移传感器是一种非接触式的测量设备,利用激光技术进行精确的距离测量。
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根据本发明实施例的激光位移传感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二极管)1、聚焦透镜2、窗口玻璃3、带通滤光片5、成像物镜(也可称为接收物镜)6、感光元件7以及反光元件8。其中,该激光位移传感器用于对被测物体4进行测量。在图1所示的结构中,省略了激光位移传感器的外壳。实际上,上述窗口玻璃3可以设置在激光位移传感器的外壳上,供激光器所发出的光通过。激光位移传感器的工作过程如下:由激光二极管1发射的激光束通过聚焦透镜2聚焦、窗口玻璃3滤光后,照射在被测物体4的表面形成一个测量光斑,激光束可以垂直入射到被测物体4表面(即垂直入射),也可与被测物体4表面成一定的角度(即斜入射)。该测量光斑由成像物镜6成像,并在感光元件7形成测量信号。
系统的整体结构如图1所示。从图1可以看出,整个系统由上位机、激光位移传感器和平台运动控制系统三部分组成。激光位移传感器由激光位移控制器、感测头和监视器组成。平台运动控制系统主要由平移台运动控制器、驱动器、电源和二维电动平移台组成。系统的部分设备如图2所示。图2列出了激光位移传感器感测头和二维电动平移台。图3为激光位移传感器感测头测量对象物原理。参考距离根据被测对象物的变化可测量范围为2 mm,基准距离为30 mm,传感器显示解析度为0.3μm,线性度达到满量程的0.3%,即精度达到6μm。高精度激光位移传感器具有较高的精确度,能够满足精密测量的需求。
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本实用新型涉及一种检验校准装置,特别指一种激光位移传感器检验校准装置。激光位移传感器是一种利用激光技术进行测量的传感器,它由激光器、激光检测器、测量电路组成。激光位移传感器是一种新型的测量仪表,能够非接触测量被测物体的位移变化,并且测量精度高。在激光位移传感器的使用过程中,由于设备的磨损老化等原因,导致激光位移传感器的测量误差增大,此时需要将激光位移传感器进行定期的检验、校准。目前,对激光位移传感器的检验、校准,主流的做法是测量一个已知的距离(比如:1米、5米、10米等),通过对比测量的数值与实际的数值来判断测量的精确度。但是这种方法存在有如下问题:1、检验的精度不够高;2、需要较大的场地。激光位移传感器在半导体行业的应用案例。杭州激光位移传感器制作厂家
它具有较长的使用寿命,能够长时间稳定地运行。温州激光位移传感器找哪家
如权利要求2所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述微调装置包括一蜗轮蜗杆机构、一电子测量仪以及一微调平台;所述微调平台设于所述电动伸缩双直线导轨上端的尾部,所述微调平台的末端向上设有一延伸部;所述蜗轮蜗杆机构设于所述微调平台的前端;所述电子测量仪的一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构。如权利要求3所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手;所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接,另一端与所述电子测量仪抵接;所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。温州激光位移传感器找哪家
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