江苏硅光电二极管

时间:2024年04月29日 来源:

    具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述,所述是对本发明的解释而不是限定。参见图1~图4,一种高速高响应度的硅基光电二极管,包括背面设有背面电极108的衬底107;衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106;所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔,以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区;所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103;所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的,所述的衬底107为电阻率20~100为ohm·cm的硅基衬底,衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上;在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102,以p型离子注入形成有源区103;所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104,所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105;所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图,rsh为光电二极管关断阻抗,rsh=∞,rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。世华高硅光电二极管让你体验许多功能。江苏硅光电二极管

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    通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率,耗尽区宽度减小导致响应度的降低,再通过增加高反层使得光子在较薄的耗尽区中二次吸收来补偿,以减小耗尽区变薄对光响应度的影响(参见图3);高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时,降低响应时间;进一步,通过在高反层上刻孔形成均匀的电流路径同时获得高的响应速度(参见图4);由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低,扩散区阻抗很小。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。江苏硅光电二极管专业硅光电二极管生产厂家就找深圳世华高。

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    以p型离子注入形成有源区;所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层,所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层;所述的正面金属电极是在溅射后经刻蚀成形。所述外延层的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入为入射光入射深度,λ为入射光波长。一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法,包括以下操作:1)在衬底上溅射生成高反层;2)高反层开设刻蚀孔;3)高反层上通过淀积的方法生长外延层;4)在外延层上通过离子注入分别形成保护环和有源区;5)在保护环和有源区上生成sio2层,然后在sio2层上方生成si3n4层;6)在sio2层、si3n4层上刻出接触孔,然后溅射金属,溅射完成后刻蚀形成正面金属电极;7)在衬底的背面做金属化处理形成背面电极。所述的衬底采用电阻率20~100为ohm·cm的低电阻率硅材料;衬底直接与背面金属形成良好的欧姆接触;所述的高反层是由折射率~~,通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成;所述的外延层的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层的厚度与耗尽区宽度相当;所述的保护环为as离子源注入,注入剂量为1e15~2e15。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳。

    深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。硅光电二极管是当前普遍应用的半导体光电二极管。下面我们谈谈2CU和2DU两种类型硅光电二极管的种类、构造以及应用上的一些问题。种类与构造一、2CU型硅光电二极管:2CU型硅光电二极管是用N型硅单晶制作的,根据外形尺寸的大小它又可分2CU­1­,2CU­2­,2CU­3­等型号,其中2CU­1­与2CU­2­体积较大,2CU­3­稍小些(见图1(a))。这种类型的光电二极管多用带透镜窗口的金属管壳封装,下端有正、负两个电极引线,它们分别与管心中的光敏面(P型层)和N型衬底相连。光线从窗入后经透镜聚焦在管心上,由于这种聚光作用增强了光照强度,从而可以产生较大的光电流。硅pin光电二极管哪家棒!世华高。

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    这一N型层与光敏面的N型层连在一起则使光电管在加上反向电压后产生很大的表面漏电流,因而使管子的暗电流变得很大。为了解决这个问题,在工艺上采取这样一个措施,即在光刻光敏面窗口的同时在光敏面周围同时刻出一个环形窗口(见图②),在这环形窗口中同时扩散进磷杂质也形成一个N型层,这就是环极。当我们给环极加上适当的正电压后,使表面漏电流从环极引出去,这样就减小了光敏面的漏电流即减小了光敏面的暗电流,提高了2DU型硅光电管的稳定性。特性与使用一、特性。2CU型或2DU型硅光电二极管在性能上都有以下二个特点,我们在使用中应予以注意。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司。。江苏硅光电二极管

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