浙江室内特气管道安装注意事项

管口加工，管口的加工是本施工技术的关键点之一，管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下的流方向冲放高纯氮气，防止切屑进入管内。切割后采用端面处理器进行端面处理，铣去毛刺；处理过程中，确保端面朝下(一直保持端面朝下)，处理后轻轻抖动消除切屑；加工后使切面朝下，从上方敲打5次，然后再次顺管内介质流用高纯氮气冲吹，切割面位于氮气下的流方向。切割后和端面处理后如管上附有切屑或其他杂质，用无尘布沾异丙醇擦试干净，无尘布使用应遵循“一次擦”的原则，不能反复使用。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。浙江室内特气管道安装注意事项

特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。浙江室内特气管道安装注意事项在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。

对于低蒸汽压气体（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。

特种气体管道配管应符合下列规定：1 按照管道系统单线图，应将规定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专门使用夹具定位后进行预连接，并应通入适量的高纯氩气进行保护；2 支架宜采用碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；3 支架应采用机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；4 当采用有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应采用树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；5 管外径小于或等于1/2“管道宜采用a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不锈钢管卡或带塑料管束的镀锌P型卡。现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录。

施工管理和现场施工的注意点：现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁;拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好;(管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好;如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，也用胶带封好。)焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择的过程中一定要注意安装标准规范操作。浙江特气管道安装解决方案

整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。浙江室内特气管道安装注意事项

特气管道工程安装需要注意以下几点，首先一定要找专业的安装公司，公司必须是拥有建筑安全施工资质和气体管道施工资质的，比如沃飞科技，这就是一家资质非常齐全的公司，另外要找一个能提供系统帮助的公司，包括一定要有良好的售后服务，保证后期出现任何问题都有责任方。为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。浙江室内特气管道安装注意事项