浙江化验室特气管道安装施工

阀门箱与阀门盘的安装，阀门箱和阀门盘应固定在专门使用支座上或固定支架固定在梁、柱与墙上，不得将阀门箱直接固定在地面上。10.4.2阀门箱和阀门盘的支座宜采用专门使用镀锌型钢、专门使用喷塑型钢或专门使用不锈钢型钢装配式连接，不宜采用焊接。10.4.3阀门箱和阀门盘的垂直度偏差不应大于1.5‰，成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。阀门箱与阀门盘就位找平后，应固定牢固。连接阀门与阀门盘、阀门箱的螺栓应为不锈钢螺栓，不得将阀门和管道系统与任何未经处理的碳钢件直接接触。弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。浙江化验室特气管道安装施工

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为，特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。浙江化验室特气管道安装施工管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。

特气管道工程，特气管道工程是指把特殊气体从气源部分输送到用气终端的一种工程。系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。

特气管道安装：（1）在管线两侧各设置1个及以上控制阀以控制气流方向，（一般采用球阀控制）。当管线较长时宜分段设阀以避免因阀门损坏造成停供事故的发生。（一般用球阀控制）。当管线较短且无分段时可在主管道端部设一个阀门以方便操作人员维修维护工作，（一般可采用蝶阀或闸阀等开关式阀门）。（2）对需要经常拆卸清洗的部件应在现场设置专门使用工具箱存放拆下的部件以备更换使用。（一般为专门使用工具车存放拆下的部件以备更换时使用。）同时需配备必要的防护用品以免发生意外事故伤害到工作人员及财产损失。（一般为专门使用工具车放置拆卸后的部件以备更换时使用。施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。南京工业特气管道安装价格

管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙。浙江化验室特气管道安装施工

这里主要介绍一下在进行特种气体管道安装时的行为要求标准。特种气体管道安装要求说明：1、不得强力对中管道，也不能使用加热管和加偏垫消除接口偏差，错位和不同心。2、连接法兰时，应保持法兰之间的平行度，不超过法兰外径的1.5％，且不超过2mm，法兰连接也应与管道同心，并应保证螺栓自由穿入。法兰连接应使用相同规格的螺栓，并且安装方向应相同。拧紧螺栓时，应对称且均匀地拧紧螺栓。在滑动法兰的内表面进行角焊时，避免飞溅和刮擦。在以下情况之一中，应在螺栓和螺母上涂上二硫化钼润滑脂，石墨油或石墨粉。浙江化验室特气管道安装施工