上海EPC净化室数十年行业精耕

    洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。每立方米将小于，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。 现在有些净化室在生产过程中使用了甲醇、甲苯等易燃易爆化学危险物品，对净化室构成了潜在的火灾威胁。上海EPC净化室数十年行业精耕

风量、换气次数、静压差在净化室体积确定的情况下，换气次数由该室的送风量决定，而静压差取决于房间的送风量与回风量、排风量的差值。系统总送风量、新风量、总排风量和对外压差可以通过调整风机频率转速或总阀门开启度来实现，各房间的风量和压力则可通过调整分支管路阀门开度来实现。

有的工程施工中采用手动方式进行控制风量和风压的调节，但由于控制风量和风压的调节阀均在技术隔层，而且吊顶也都是彩钢板的软吊顶，基本上都是在安装调试时调好，此后，大都没再调节过。为确保洁净厂房的正常生产和工作，应设置一套较完整的自控装置，实现以下功能：净化室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节;高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测;气体纯度、纯水水质的监测等。 上海EPC净化室数十年行业精耕净化室的主要功能为室内污染控制，没有净化室，污染敏感零件不可能批量生产。

    乱流式净化室空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。（1）定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。（2）原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的（乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别）。（3）特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）1）自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟)(可取15min计算)10,000级希望不超过30min(分钟)(可取25min计算)100,000级希望不超过40min(分钟)(可取30min计算)2）换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级—(规范:50次/小时)10,000级—(规范:25次/小时)100,000级—(规范:15次/小时)3）优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出。

净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加，阻力增大，为保持风量则需调节系统中的风阀。在调试时，为使风机空载启动，则需将风机出口处风阀关闭，风机启动后，因风阀上承受压力，开启十分困难。采用空气过滤器前后压差的变化控制风机的变频调速装置后，送风量的调节会变得十分容易，送风压力稳定。这些监控装置可设计成单个系统的测量，控制系统，也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时，电加热器会继续送电加热，造成设备损坏甚至发生火灾，为避免这种情况的出现，应设置无风以及超温断电的保护。净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加，阻力增大，为保持风量则需调节系统中的风阀。

混合设置：在一些项目中，大部分清洁生产区安装的净化空调装置既采用集中净化空调机房，又在特定的局部空间采用分散式净化空调装置，以满足生产工艺的需要。它具有集中和分散的特点，更经济、更灵活，满足了产品生产的要求。近年来,在大规模集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元（FFU）送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,循环空气机组分散设置。（上海天翎净化工程有限公司）净化室已经成为众多必备的医疗设施之一。上海EPC净化室数十年行业精耕

净化室内表面平整、光滑、无脱落物，墙角应弧形，有防尘、虫、污设施。上海EPC净化室数十年行业精耕

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