国产氦气检测仪一台多少钱

氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。氦质谱检漏仪主要技术指标：1.可检漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.启动时间：≤5min；4.响应时间：≤1s；5.检漏口的压力：1500Pa；6.电源要求：220v，50Hz，单相，10A；7.工作环境：5-35℃；8.相对湿度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用环境：环境温度：5～35℃；相对湿度：<80%；供电电压：单相交流220V±10%，50Hz工作电流：10A。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。国产氦气检测仪一台多少钱

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规等。国产氦气检测仪一台多少钱氦质谱检漏仪的关键部件均为进口，性能稳定可靠。

氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。国产氦气检测仪一台多少钱

喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。国产氦气检测仪一台多少钱

氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理：一、机械维护，检查泵的油量，如果低于低标线，则加入泵油；如果变黑或浑浊，则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗，泄漏探测器没有氦进入，但有一定的泄漏率指示，长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气，在检漏时又被释放，造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，在氦质谱检漏仪下方设置过滤器，将其拆下，用酒精浸泡清洗。检查泄漏，用棉布擦拭波纹管。三、以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电：1.电源线连接不当；2、保险管熔断。3、重新接通电源。4.更换相同规格的保险管。国产氦气检测仪一台多少钱

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