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    搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备，物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中，搬运系统100在配置于第1、第二装置区域ta1、ta2的第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。第1、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等，对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各第1、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示，第1处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的第1装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。第1、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个第1、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外，多个第1、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子，也可以是其他配置。另外。溧水区米袋真空搬运机推荐厂家！宝山区多功能真空搬运机供应

    能够减少第二起重机40b与高架搬运车50产生干扰的时刻、和高架搬运车50彼此产生干扰的时刻。另外，也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况，但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下，也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶，确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外，第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶，而从第二区段内顶棚轨道12经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16移动至第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来，如图8所示，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶，从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由第1连接轨道15的出口部15b向第1区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、第1连接轨道15、以及第1区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6)。宝山区多功能真空搬运机供应雨花台区多功能真空搬运机推荐厂家！

    第1区段间顶棚轨道13经由第1连接轨道15与第1区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的一个端部(+y侧的端部)连结。第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16与第1区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的另一个端部(-y侧的端部)连结。第1连接轨道15具有入口部15a和出口部15b作为两个轨道。入口部15a形成供高架搬运车50从第1区段间顶棚轨道13向第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部15b形成供高架搬运车50从第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第1区段间顶棚轨道13行驶的路径。第二连接轨道16与第1连接轨道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作为两个轨道。入口部16a形成供高架搬运车50从第二区段间顶棚轨道14向第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部16b形成供高架搬运车50从第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第二区段间顶棚轨道14行驶的路径。此外，在本实施方式中，示出第1连接轨道15与第二连接轨道16是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1连接轨道15与第二连接轨道16也可以是不同的形状。如图1所示，第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管区域sa1。如图1所示。

    第1、第二起重机40a、40b在下层的第1、第二保管部20a、20b与上层的第1、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。高架搬运车50沿着顶棚轨道10(第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14)移动，在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之间进行物品2的交接。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示，高架搬运车50具有行驶部51和主体部52。行驶部51与第1、第二行驶部41a、41b相同地，具备未图示的行驶驱动部和多个车轮71a(参照图6)，并沿着顶棚轨道10行驶。行驶驱动部例如可以是设置于行驶部51且驱动车轮71a的电动马达，也可以是使用顶棚轨道10设置的线性马达。主体部52经由安装部52a安装于行驶部51的下部。主体部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驱动部54，其悬挂保持部53且使其升降；以及横向伸出机构55，其使升降驱动部54移动。保持部53通过把持物品2的凸缘部2a而悬挂保持物品2。保持部53例如是具有能够沿水平方向移动的爪部53a的卡盘，使爪部53a侵入至物品2的凸缘部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。六合区多功能真空搬运机推荐厂家！

    并使转动部件围绕上下方向的轴进行转动。转动部通过来自转动驱动部的驱动力而转动，能够使升降驱动部54或者保持部53围绕上下方向的轴进行转动。通过该转动部能够将被保持部53保持的物品2的朝向改变。此外，高架搬运车50也可以不具备转动部。图6是表示第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51的一个例子的图。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51例如采用共用的结构(同一结构或者大致同一结构)。另外，对于顶棚轨道10中的第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14而言，与行驶方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51中的任一者均能够行驶。这样，由于第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51共用，因此无需按照其他结构制造第1、第二行驶部41a、41b与行驶部51，能够减少第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的制造成本。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51具有：多个车轮71a，它们与顶棚轨道10的下方的内表面抵接；和行驶部主体71b，其安装有上述多个车轮71a。行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、和各种传感器。顶棚轨道10具备供电部70。栖霞区多功能真空搬运机推荐厂家！秦淮区象鼻子真空搬运机

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    真空搬运机械手的选型是根据需要搬运的工件大小、材质、重量来定的，不同的材质需要用不同材质的吸盘。比如工件表面比较粗糙的一般选项用硅胶或者聚胺脂吸盘，另外加上海绵吸盘唇，确保吸盘能安全吸附。对于表面比较光滑的工件如玻璃一般选用天然橡胶或者丁腈胶吸盘。机械手的工作环境的温度，湿度以及工件温度等都会影响的吸盘材质的选择。本实用新型的有益效果是I)操作简易快捷该机械手按照人体工学设计，随作业员的牵引力在上下前后左右三维空间自动帧测运行，减轻工人劳动负荷，操作方便灵活，提高工作效率；2)悬浮性无冲击力及不具有反弹力该机械手主要是依靠真空源在抽空吸盘内部的空气产生真空，可完成工件的无损伤搬运或上料，并确保产品组装时，柔性对接，避免普通起吊设备运行时的冲击性和反弹力，安全吸附，避免工件表面损伤；3)定位精确零重力悬浮状态，保证工件对接时随机移动精确定位。4)安全性高在真空泵断电的情况下，能量储备可以保持负载几个小时，只要吸盘内有适当的真空存在，负载就不会坠落。下面是结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述图中是一种新型真空搬运机械手结构示意图。宝山区多功能真空搬运机供应