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时间:2022年08月11日 来源:

每个单元线路结构的六条列金属线ml1至ml6可以在方向x上布置成交替地具有金属节距pm11和第二金属节距pm12。金属节距pm11和第二金属节距pm12可以由表达式1表示。表达式1pm11=wdm+wmlpm12=pdm-(wdm+wml)在表达式1中,wdm表示双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3的宽度,wml表示列金属线ml1至ml6的宽度。在形成列金属线ml1至ml6之前,可以在列导电层ccl下方的栅极层gtl中形成针对每个单元线路结构的四条栅极线gl1至gl4。参照图5,每个单元线路结构uws1的四条栅极线gl1至gl4可以通过单图案化形成。在这种情况下,每个单元线路结构uws1的四条栅极线gl1至gl4可以在方向x上布置成具有相等的栅极节距pg1。栅极节距pg1可以等于通过曝光工艺形成的抗蚀剂图案的节距。图5示出了均具有相同的布图或相同的形貌(topography)的两个单元线路结构:左侧的一个被标识为uws1,在x轴上向右侧移位的一个也被标识为uws1。图5的左侧的uws1内的空间关系与右侧的uws1内的空间关系相同。空间关系包括gtl中的gl1、gl2、gl3、gl4之间的节距以及ccl中的ml1、ml2、ml3、ml4、ml5、ml6之间的节距还有ccl和gtl中的特征之间的相对节距。图5表示其中存在6n条金属线和4n条栅极线的通常示例。上海海谷电子有限公司是一家专业提供回收的公司,有想法的可以来电咨询!吉林电子料高价回收平台

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并且也可以包括在部件和第二部件之间可以形成额外的部件,从而使得部件和第二部件可以不直接接触的实施例。此外,本发明可在各个实施例中重复参考标号和/或字符。该重复是为了简单和清楚的目的,并且其本身不指示所讨论的各个实施例和/或配置之间的关系。而且,为便于描述,在此可以使用诸如“且,为便于描述,在此可以使用诸如个实施例和和布置的具体实例等空间相对术语,以描述如图所示的一个元件或部件与另一个(或另一些)原件或部件的关系。除了图中所示的方位外,空间相对术语旨在包括器件在使用或操作中的不同方位。装置可以以其它方式定向(旋转90度或在其它方位上),而本文使用的空间相对描述符可以同样地做出相应的解释。磁阻式随机存取存储器(mram)单元包括垂直布置在导电电极之间的磁隧道结(mtj)。mtj包括通过隧穿阻挡层与自由层分隔开的固定层。固定层的磁取向是静态的(即,固定的),而自由层的磁取向能够在相对于固定层的磁取向的平行配置和反平行配置之间切换。平行配置提供低电阻状态,低电阻状态数字化地将数据存储为位值(例如,逻辑“1”)。反平行配置提供高电阻状态,高电阻状态数字化地将数据存储为第二位值(例如,逻辑“0”)。随着集成芯片的功能增多。

导电覆盖层可以由金属氮化物(例如,tin、tan、它们的组合等)形成。间隙填充金属层可以填充有源区ac之间的空间并且在导电覆盖层上延伸。间隙填充金属层可以由w(例如,钨)层形成。间隙填充金属层可以例如通过使用ald方法、cvd方法或物相沉积(pvd)方法形成。多个导电接触件ca和cb可以位于有源区ac上的层ly1上。多个导电接触件ca和cb包括连接到有源区ac的源区/漏区116的多个接触件ca21、22、23、24、25、31、32、33、34和35(参见图12b)和连接到栅极线pc11、12、13、14、15和16的多个第二接触件cb41、42和43(参见图12a和12c)。多个导电接触件ca和cb可以通过覆盖有源区ac和栅极线pc的层间绝缘层132彼此绝缘。多个导电接触件ca和cb可以具有与层间绝缘层132的上表面基本处于同一水平处的上表面。层间绝缘层132可以是氧化硅层。第二层间绝缘层134和穿过第二层间绝缘层134的多个下通孔接触件v051、52、53、54、55、56、57、58、59、60、61和62位于层间绝缘层132上。第二层间绝缘层134可以是氧化硅层。在高于层ly1(例如,沿着第三方向z距基底110更远)的第二层ly2上沿方向x延伸的多条线路m171、72、73、74、75、76、77和78可以位于第二层间绝缘层134上。回收,就选上海海谷电子有限公司,有想法的可以来电咨询!

调节mtj器件、第二调节mtj器件和工作mtj器件106分别包括mtj,mtj具有通过介电遂穿阻挡层与自由层分隔开的固定层。在一些实施例中,固定层110可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)、镍(ni)、钌(ru)、铱(ir)、铂(pt)等。在一些实施例中,介电遂穿阻挡层可以包括氧化镁(mgo)、氧化铝(al2o3)等。在一些实施例中,自由层可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)等。在其它实施例中,调节访问装置108可以包括一个或多个电阻器(例如,包括氮化钽、钽、氮化钛、钛、钨等的薄膜电阻器)。例如,在一些实施例中,调节访问装置108可以包括与工作mtj器件106并联连接的薄膜电阻器和第二薄膜电阻器。在各个实施例中,调节访问装置108可以包括具有基本类似的尺寸或具有不同的尺寸的电阻器。存储器阵列102通过多条位线bl1至bl2和多条字线wl1至wl2连接至控制电路115。在一些实施例中,控制电路115包括连接至多条位线bl1至bl2的位线解码器116和连接至多条字线wl1至wl2的字线解码器118。调节访问装置108连接在字线wlx(x=1或2)和工作mtj器件106之间,而工作mtj器件106连接在调节访问装置108和位线bly(y=1或2)之间。为了访问工作mtj器件106。回收,就选上海海谷电子有限公司,用户的信赖之选,有需求可以来电咨询!河北电子料库存回收网

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根据示例实施例的集成电路以及制造和设计所述集成电路的方法可以通过单元线路结构提高集成电路的设计效率和性能。实施例可以应用于任何电子装置和系统。例如,实施例可以应用于诸如存储器卡、固态驱动器(ssd)、嵌入式多媒体卡(emmc)、移动电话、智能电话、个人数字助理(pda)、便携式多媒体播放器(pmp)、数码相机、便携式摄像机、个人计算机(pc)、服务器计算机、工作站、膝上型计算机、数字tv、机顶盒、便携式、导航系统、可穿戴装置、物联网(iot)装置、万物网(ioe)装置、电子书、虚拟现实(vr)装置、增强现实(ar)装置等的系统。前述内容是对示例实施例的说明,而不应被解释为对其进行限制。尽管已经描述了一些示例实施例,但是本领域技术人员将容易理解,在实质上不脱离本发明构思的情况下,可以在示例实施例中进行许多修改。吉林电子料高价回收平台

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