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磨料的粒度测量:以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用,CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米,典型的过大聚集体为1-10微米,并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸,同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒,提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%,粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。驰光拥有业内专业人士和高技术人才。上海二氧化钛粒度分析仪哪家好
测量低密度颗粒:示差沉降法过去一般用于测量密度大于分散介质液体密度的颗粒,CPS开发了一项新的技术技术(US Patent5,786,898)。很多用常规示差沉降法很难或者不可能分析的材料(例如油乳液、蜡乳液、粘性乳液或脂质体),现在可以方便地使用CPS进行分析,而且精度很高。速度调节:CPS开发了一种特殊的圆盘设计使得在分析过程中可以调节圆盘的转速,而不会对沉降液体产生扰动,转速可以在20倍范围内升高或者降低,这样一来就使得分析的动态范围几乎增大了20倍。湖北二氧化钛粒度分析仪价格驰光机电科技提供周到的解决方案,满足客户不同的服务需要。
CPS纳米粒度仪测量金刚石的粒径:金刚石微粉是指颗粒度细于36/54微米的金刚石颗粒,金刚石微粉硬度高、耐磨性好。大量用于机械、航天、光学仪器、玻璃、陶瓷、电子、石油、地质、工业部门,用于制作PCD(聚晶金刚石)、 PDC(金刚石复合片)、陶瓷结合剂、金属结合剂、电镀产品;制作拉丝模、电镀磨具,陶瓷、金属结合剂磨具等;制造金刚石树脂结合剂弹性磨块等;用于精密机械、光学玻璃、精细陶瓷、宝石及半导体等产品的研磨抛光。CPS纳米粒度分析仪测量金刚石微粉的粒径。
CPS分析仪基本原理:CPS纳米粒度分析仪依据Stokes定律,V=D²(ρP-ρF)G/18η,即颗粒沉降的速度与颗粒的尺寸平方成正比来进行粒度的测量。待测样品从圆盘中心进入高速旋转的圆盘,在离心力的作用下发生沉降,沉降的速度遵循Stokes公式,在距离圆盘的边缘固定位置设有激光检测器,颗粒按尺寸大小依次通过探测器,仪器记录颗粒通过探测器的时间,由于所有颗粒走过的路程都一样,因此,颗粒运动所需的时间与颗粒本身尺寸的平方成反比,激光检测器同时检测颗粒对光的散射程度。驰光机电科技有限公司产品适用范围广,产品规格齐全,欢迎咨询。
为了提高粒径的测量精度,需要较高的圆盘转速,目前市面上常见的运行速度较高在15000RPM,而国内在1500RPM,无法满足CPM化学机械抛光的需求。CPS-24000纳米粒度仪的最高转速为24000转,测试范围在5nm-75um,每次加样只需要0.1ml,降低样液的测试成本,可连续测量多达40个样品。CPS纳米粒度分析仪的使用方法已经列入国标,包括《金属粉末粒度分布的测量-重力沉淀光透法》、《煤矿粉尘粒度分布测定方法》、《橡胶配合剂-炭黑-聚集体尺寸的测定-使用光跟踪盘式离心沉淀仪法》等。山东驰光机电科技有限公司深受行业客户的好评,值得信赖。上海二氧化钛粒度分析仪哪家好
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高灵敏度:即使只有1微克样品,CPS也能得到一个准确的粒度分布结果。快速、高精度数模(A/D)转换:可用信号分辨率(即软件操作的数据对象)决定于数模转换(A/D)过程。CPS系统使用的数模转换可以实现在每秒31次取样时保持20位以上的精度,即百万分之一的误差。快速检测头响应:CPS系统的检测头和电路设计允许在95%精度下0.1秒的响应速度,而同类产品的响应时间为1-4秒。这一出众的快速移动峰值检测能力较大地扩展了测量的动态范围,比同类型产品提供高出4倍多的分析速度。上海二氧化钛粒度分析仪哪家好
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