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时间:2024年11月05日 来源:

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真空机组一般由真空泵、控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。工作原理启动系统,主真空泵组开始工作,直到真空罐内真空度达到设定的上限值,真空泵自动停止运行,中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时,备用真空泵组自动启动。由此循环往复,真空系统的真空度能够维持稳定的真空源,满足生产的要求。

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