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硅片切割加工过程中为了降低机械应力、热应力，保障线切割过程成为稳定的过程，需要加入大量的切割液，在加工过程中会产生大量的副产物。这种副产物的主要成分为大量有机物（即切割液的主要成分：乙二醇、多乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂的混合液），以及在使用该切割液时添加在其中的碳化硅（该碳化硅用作切割液的磨料），和在切割过程中产生的多晶硅（或单晶硅）颗粒。硅片切割加工副产物若处理不当，不仅会产生严重的环境污染，而且浪费了大量的资源。随着国家节能降耗，保护环境政策的实施，从硅片切割加工副产物中回收经济价值较高的碳化硅，可回用于硅片的切割加工过程，也可以用于商品碳化硅使用场合。

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