浙江在线式等离子清洗机生产企业

时间:2024年09月30日 来源:

光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。宽幅等离子适用于各种平面材料的清洗活化,搭配等离子发生装置,可客制化宽幅线性等离子流水线设备。浙江在线式等离子清洗机生产企业

等离子清洗机

塑料是以高分子聚合物为主要成分,添加不同辅料,如增塑剂、稳定剂、润滑剂及色素等的材料,满足塑料是以高分子聚合物为主要成分,人们日常生活的多样化和各领域的需求。因此需要对塑料表面的性质如亲水疏水性、导电性以及生物相容性等进行改进,对塑料表面进行改性处理。等离子体是物质的第四态,是由克鲁克斯在1879年发现,并在1928年由Langmuir将“plasma”一词引入物理学中,用于表示放电管中存在的物质。根据其温度分布不同,等离子体通常可分为高温等离子体和低温等离子体(LTP),低温等离子体的气体温度要远远低于电子温度,使其在材料表面处理领域具有极大的竞争力。低温等离子体等离子体的一种,主要成分为电中性气体分子或原子,含有高能电子、正、负离子及活性自由基等,可用于破坏化学键并形成新键,实现材料的改性处理。并且,其电子温度较高,而气体温度则可低至室温,在实现对等离子体表面处理要求的同时,不会影响材料基底的性质,适合于要求在低温条件下处理的生物医用材料。低温等离子体可在常温常压下产生,实现条件简单、消耗能量小、对环境和仪器系统要求低,易于实现工业化生产及应用。江苏在线式等离子清洗机功能等离子体可以实现清洁、改性、刻蚀等目的。

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等离子清洗机通过使用物理或化学方法,可以有效地清洁、活化或改性材料表面。对于陶瓷基板,等离子清洗的主要作用是去除表面的污垢、氧化物、层间介质等杂质,同时通过活化表面,提高其润湿性和粘合性。陶瓷基板处理后的主要优势:1. 增强耐高温性能:等离子清洗处理能够去除陶瓷基板表面的污染物和氧化物,从而减少在高温环境下的热应力,提高耐高温性能。2. 提高导电性:通过等离子清洗处理,可以在陶瓷基板表面引入导电物质,从而使其具有一定的导电性。这在需要电磁屏蔽或电绝缘的场合具有重要应用。3. 增加生物相容性:通过等离子清洗处理,可以在陶瓷基板表面引入生物活性物质,使其具有更好的生物相容性,可用于生物医学领域,如人工关节、牙种植体等

等离子体技术的特点是不分材料的几何形状和类型,均可进行PlaSMA等离子处理,对金属、半导体、氧化物、PET纤维、PDMS、PTFE、ITO/FTO导电玻璃、硅片和大多数高分子材料,如液晶高分子、聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、聚四氟乙烯和石墨烯粉末、金属氧化物粉末、聚乙二醇粉末、碳黑粉末、碳纳米管粉末、硼粉、铝粉、荧光粉等都能很好地处理,可实现整体和局部以及复杂结构的清洗、活化、改性、蚀刻。选择适合的等离子清洗机能保证材料表面不被损伤,也能提升材料物理和化学性能。真空等离子清洗机适用于面积较大、形状复杂的材料清洗,可搭配多种工艺气体。

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随着集成电路技术的发展,半导体封装技术也在不断创新和改进,以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案,能够满足先进半导体封装的要求,被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑,并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前,基板上如果存在污染物,银胶容易形成圆球状,降低芯片粘结度。因此,在DB工艺前,需要进行等离子处理,提高基板表面的亲水性和粗糙度,有利于银胶的平铺及芯片粘贴,提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量,降低成本。手机触摸屏油墨面需与其他部件进行贴合、触摸面则需要进行镀膜,通过真空等离子可提高其贴合力。重庆晟鼎等离子清洗机产品介绍

等离子清洗可以提高摄像头底座的粘接性能,确保摄像头的稳固性。浙江在线式等离子清洗机生产企业

在汽车行业中,未经处理的挡风玻璃表面可能缺乏足够的活化能,使得涂层、粘合剂等材料难以与其形成牢固的化学键。挡风玻璃表面的附着力和耐久性直接影响其涂层、粘合剂等材料的性能和使用寿命。如果表面附着力不足,涂层和粘合剂容易脱落或开裂等问题。等离子清洗机具有表面活化功能,通过等离子体的作用,能够完全去除挡风玻璃表面的有机物和其他污染物,从而增加了表面能,提高了油墨、涂层或其他材料与挡风玻璃表面的附着力。针对汽车玻璃制程中印刷、粘接工艺前,可使用等离子清洗机、USC超声波除尘达到表面活化、精细除尘的目的。浙江在线式等离子清洗机生产企业

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