净化工程标准

洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。 净化工程等级标准 编辑 经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。净化工程中，环境监测设备是确保洁净度的重要工具。净化工程标准

净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。 中文名 净化工程 外文名 Purification engineering 工程性质 环境保护 应    用 制造业 原    理 乱流洁净室，单向流洁净室 作    用 控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度 目录 1 原理 ▪ 乱流洁净室 ▪ 单向流洁净室 2 控制 3 作用 4 分类 5 等级标准 6 行业应用 7 解决方案 净化工程原理 编辑 净化工程乱流洁净室 乱流 洁净室的主要特点是从来流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的， 洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。光电净化工程等级净化工程的实施应注重细节，避免污染源的产生。

直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘 化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。 

用风速可以正确地表示出单向流，因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关，如吊顶的高低，因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍（10到100倍）。 净化工程控制 编辑 洁净室中的温湿度控制 洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。高效过滤器是净化工程中常用的设备之一。

    无菌操作室注意事项：1.安全注意事项严格无菌操作，防止微生物污染；操作人员进入无菌室应先关掉紫外灯。2.无菌室应设有无菌操作间和缓冲间，无菌操作间洁净度应达到10000级，室内温度保持在20-24℃，湿度保持在45-60%。超净台洁净度应达到100级。3.无菌室应保持清洁，严禁堆放杂物，以防污染。严防一切灭菌器材和培养基污染，已污染者应停止使用。4.无菌室应定期用适宜的消毒液灭菌清洁，以保证无菌室的洁净度符合要求。5.需要带入无菌室使用的仪器，器械，平皿等一切物品，均应包扎严密，万级净化工程标准，并应经过适宜的方法灭菌。6.工作人员进入无菌室前，必须用肥皂或消毒液洗手消毒，然后在缓冲间更换工作服，鞋，帽子，口罩和手套(或用70%的---再次擦拭双手)，方可进入无菌室进行操作。7.无菌室使用前必须打开无菌室的紫外灯辐照灭菌30分钟以上，并且同时打开超净台进行吹风。操作完毕，应及时清理无菌室，再用紫外灯辐照灭菌20分钟。8.供试品在检查前，应保持外包装完整，不得开启，以防污染。检查前，用70％的酒精棉球消毒外表面。9.凡带有活菌的物品，必须经消毒后，万级净化工程造价，才能在水龙头下冲洗，严禁污染下水道。净化工程的设计应考虑到车间内部的清洁和消毒流程。蚌埠光学净化工程

净化工程中，操作人员的个人卫生也是重要的一环。净化工程标准

气压规定 对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则： 1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。 2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。 压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。 洁净室中的气流速度规定 这里要讨论的气流速度是指 洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。 净化工程标准