无锡京东方用的蚀刻液剥离液主要作用

    本发明涉及化学制剂技术领域：，特别涉及一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。背景技术：：随着半导体制造技术以及立体封装技术的不断发展，电子器件和电子产品对多功能化和微型化的要求越来越高。在这种小型化趋势的推动下，要求芯片的封装尺寸不断减小。3d叠层粉妆技术的封装体积小，立体空间大，引线距离短，信号传输快，所以能够更好地实现封装的微型化。晶圆叠层是3d叠层封装的一种形式。叠层晶圆在制造的过程中会对**外层的晶圆表面进行显影蚀刻，当中会用到光刻胶剥离液。以往的光刻胶剥离液对金属的腐蚀较大，可能进入叠层内部造成线路减薄，药液残留，影响产品的质量。因此有必要开发一种不会对叠层晶圆产生过腐蚀的光刻胶剥离液。技术实现要素：本发明的主要目的在于提供一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液，既具有较高的光刻胶剥离效率，又不会对晶圆内层有很大的腐蚀。本发明通过如下技术方案实现上述目的：一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液，配方包括10～20wt％二甲基亚砜，10～20wt％一乙醇胺，5～11wt％四甲基氢氧化铵，～1wt％硫脲类缓蚀剂和～2wt％聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂，5～15wt％n-甲基吡咯烷酮和余量的去离子水。具体的。剥离液的类别一般有哪些。无锡京东方用的蚀刻液剥离液主要作用

光刻胶又称光致抗蚀剂，主要由感光树脂、增感剂和溶剂三种成分组成。感光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶解性、亲合性等发生明显变化。经曝光、显影、刻蚀、扩散、离子注入、金属沉积等工艺将所需的微细图形从掩模版转移至加工的基板上、***通过去胶剥离液将未曝光部分余下的光刻胶清洗掉，从而完成整个图形转移过程。在液晶面板和amoled生产中***使用。现有的剥离液主要有两种，分别是水性剥离液和有机剥离液，由于有机剥离液只能用于具有mo/al/mo结构的制程中，无法用于ito/ag/ito；且乙醇胺的含量高达60％以上，有很强的腐蚀性，因此，常用的剥离液是水性剥离液，现有的水性剥离液主要成分为有机胺化合物、极性有机溶剂以及水，但现有的水性剥离液大都存在腐蚀金属配线、光刻胶残留、环境污染大、影响操作人员的安全性、剥离效果差等问题。南京什么剥离液供应商剥离液公司的联系方式。

    用显微镜观察也难以看出的程度)3：有少量残渣4：基本能剥离，但一部分残渣多5：一半以上能剥离，但一部分残渣多6：基本不能剥离，但一部分剥离7：不能剥离【表2】由该结果可知，在含有溶纤剂的抗蚀剂的剥离液中使用氢氧化钾代替氢氧化钠的本发明组成，与使用氢氧化钠的比较组成相比，即使l/s狭窄，也能除去抗蚀剂。(3)剥离性能的评价方法将液温设为50℃的各剥离液使用喷涂装置向上述试验片实施剥离处理，将试验片的粘性部分的dfr以目视全部面积的90％以上被剥离的时刻作为剥离时间。另外，剥离片尺寸(长边)是采集喷涂停止后附着于设置于试验基板固定用的台上的排渣用网眼的剥离片以目视实施的。此时的喷涂装置的条件设为全锥喷嘴且流量5l/min、压力。将其结果示于表3。(4)金属的浸蚀性的评价方法利用上述评价方法实施将喷涂运行时间固定在10分钟的处理。其后，将基板的镀铜部位通过电子显微镜(日立高新技术制：s-3400n)按照以下的评价基准评价表面形状。其结果也示于表3。<金属浸蚀性的评价基准>(分数)(内容)1：没有变化2：极略微有变化(用显微镜观察也难以看出的程度)3：略有变化4：发生***变色【表3】剥离时间(sec)剥离片尺寸。

    每一所述第二子管道502与所述公共子管道501连通，所述公共子管道501与所述下一级腔室102连通。其中，阀门开关60设置在每一***子管道301上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一第二子管道502上。具体的，阀门开关60的设置位置可以设置在连接过滤器30的任意管道上，在此不做赘述。在一些实施例中，请参阅图4，图4为本申请实施例提供的剥离液机台100的第四种结构示意图。第二管道50包括多个第三子管道503，每一所述第三子管道503与一子过滤器连通301，且每一所述第三子管道503与所述下一级腔室连通102。其中，阀门开关60设置在每一第三子管道503上。本申请实施例提供的剥离液机台，包括：依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱；过滤器，所述过滤器的一端设置通过***管道与当前级腔室对应的存储箱连接，所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接；其中，至少在***管道或所述第二管道上设置有阀门开关。通过阀门开关控制连接每一级腔室的过滤器相互独立，从而在过滤器被阻塞时通过阀门开关将被堵塞的过滤器取下并不影响整体的剥离进程，提高生产效率。哪家的剥离液蚀刻效果好？

    2)、伺服变频电机(3)、电机减速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷结构(7)、胶面剥离结构(8)，所述主支撑架(1)上方设置有所述横向支架(2)，所述横向支架(2)上方设置有所述伺服变频电机(3)，所述伺服变频电机(3)上方设置有所述电机减速箱(4)，所述电机减速箱(4)上方安装有印刷品传送带(5)，所述印刷品传送带(5)一侧安装有所述印刷品放置箱(6)，所述印刷品放置箱(6)一侧安装有所述表面印刷结构(7)，所述表面印刷结构(7)上方设置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安装有油墨加压器(702)，所述油墨加压器(702)下方安装有高压喷头(703)，所述高压喷头(703)一侧安装有防溅射挡板(704)，所述防溅射挡板(704)下方安装有印刷辊(705),所述表面印刷结构(7)一侧安装有所述胶面剥离结构(8)，所述胶面剥离结构(8)上方安装有收卷调速器(801)，所述收卷调速器(801)一侧安装有收卷驱动电机(802)，所述收卷驱动电机(802)一侧安装有辊固定架(803)，所述辊固定架(803)一侧安装有胶水盛放箱(804)，所述胶水盛放箱(804)下方安装有点胶头(805)，所述点胶头(805)下方安装有卷边辊(806)，所述卷边辊(806)一侧安装有胶面收卷辊(807)，所述胶面剥离结构(8)一侧安装有电加热箱(9)，所述电加热箱。剥离液的的性价比、质量哪家比较好？南京银蚀刻液剥离液销售厂

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    所述胶水盛放箱804与所述点胶头805通过管道连接，所述卷边辊806与所述胶面收卷辊807通过皮带连接，所述收卷驱动电机802与所述胶面收卷辊807通过导线连接。本实施例中，所述电加热箱9与所述干燥度感应器11通过导线连接，所述电气控制箱12与所述液晶操作面板13通过导线连接。本实施例中，所述主支撑架1由合金钢压制而成，厚度为5mm。本实施例中，所述干燥度感应器11与所述电气控制箱12通过导线连接。本实施例中，所述防溅射挡板704共有两块，倾斜角度为45°。本实施例中，所述电气控制箱12与所述表面印刷结构7通过导线连接，所述电气控制箱12与所述胶面剥离结构8通过导线连接。具体工作原理为：将印刷品放置于所述印刷品放置箱6中，印刷品进入所述印刷品传送带5本文档来自技高网...【技术保护点】1.一种印刷品胶面印刷剥离复合装置，其特征在于：包括主支撑架(1)、横向支架(2)、伺服变频电机(3)、电机减速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷结构(7)、胶面剥离结构(8)，所述主支撑架(1)上方设置有所述横向支架(2)，所述横向支架(2)上方设置有所述伺服变频电机(3)，所述伺服变频电机(3)上方设置有所述电机减速箱(4)，所述电机减速箱(4)上方安装有印刷品传送带(5)。无锡京东方用的蚀刻液剥离液主要作用

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