南京BOE蚀刻液剥离液联系方式

时间:2023年05月05日 来源:

    含有的胺化合物的质量分为:1%-2%。进一步技术方案中,所述的添加剂中含有醇醚化合物的质量分为:30%-50%;含有胺化合物的质量分为:35%-55%;含有缓蚀剂的质量分为:6%-12%;含有润湿剂的质量分为:1%-7%。进一步技术方案中,所述的步骤s1中剥离液废液所含的酰胺化合物以及步骤s2中添加剂所含的酰胺化合物均为n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的一种或者多种。进一步技术方案中,所述的步骤s1中剥离液废液所含的醇醚化合物以及步骤s2中添加剂所含的醇醚化合物均为二乙二醇丁醚(bdg)、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的一种或多种。进一步技术方案中,所述的步骤s1中剥离液废液所含的胺化合物以及步骤s2中添加剂所含的胺化合物为环胺与链胺。进一步技术方案中,所述的环胺为氨乙基哌嗪、羟乙基哌嗪、氨乙基吗啉中的一种或多种;所述的链胺为乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、异丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的一种或多种。进一步技术方案中,所述的三唑类化合物,具体为苯并三氮唑(bta)、甲基苯并三氮唑(tta)中的任意一种。进一步技术方案中,所述的润湿剂为含羟基化合物,具体为为聚乙二醇、甘油中的任意一种。剥离液的主要成分是什么?南京BOE蚀刻液剥离液联系方式

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    所述胶面剥离结构8上方安装有收卷调速器801,所述收卷调速器801一侧安装有收卷驱动电机802,所述收卷驱动电机802一侧安装有辊固定架803,所述辊固定架803一侧安装有胶水盛放箱804,所述胶水盛放箱804下方安装有点胶头805,所述点胶头805下方安装有卷边辊806,所述卷边辊806一侧安装有胶面收卷辊807,所述胶面剥离结构8一侧安装有电加热箱9,所述电加热箱9下方安装有热风喷头10,所述热风喷头10下方安装有干燥度感应器11,所述干燥度感应器11下方安装有电气控制箱12,所述电气控制箱12上方安装有液晶操作面板13。本实施例中,所述主支撑架1与所述横向支架2通过螺栓连接,所述伺服变频电机3与所述电机减速箱4通过导线连接。本实施例中,所述印刷品传送带5与所述印刷品放置箱6通过皮带连接,所述电加热箱9与所述胶面剥离结构8通过导线连接。本实施例中,所述油墨放置箱701与所述油墨加压器702通过管道连接,所述油墨加压器702与所述高压喷头703通过管道连接,所述印刷辊705共有两个,对称设置,所述防溅射挡板704与所述油墨放置箱701焊接。本实施例中,所述收卷调速器801与所述收卷驱动电机802通过导线连接,所述辊固定架803与所述胶面收卷辊807通过轴连接。扬州什么剥离液如何选择一家好的做剥离液的公司。

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    2)、伺服变频电机(3)、电机减速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷结构(7)、胶面剥离结构(8),所述主支撑架(1)上方设置有所述横向支架(2),所述横向支架(2)上方设置有所述伺服变频电机(3),所述伺服变频电机(3)上方设置有所述电机减速箱(4),所述电机减速箱(4)上方安装有印刷品传送带(5),所述印刷品传送带(5)一侧安装有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一侧安装有所述表面印刷结构(7),所述表面印刷结构(7)上方设置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安装有油墨加压器(702),所述油墨加压器(702)下方安装有高压喷头(703),所述高压喷头(703)一侧安装有防溅射挡板(704),所述防溅射挡板(704)下方安装有印刷辊(705),所述表面印刷结构(7)一侧安装有所述胶面剥离结构(8),所述胶面剥离结构(8)上方安装有收卷调速器(801),所述收卷调速器(801)一侧安装有收卷驱动电机(802),所述收卷驱动电机(802)一侧安装有辊固定架(803),所述辊固定架(803)一侧安装有胶水盛放箱(804),所述胶水盛放箱(804)下方安装有点胶头(805),所述点胶头(805)下方安装有卷边辊(806),所述卷边辊(806)一侧安装有胶面收卷辊(807),所述胶面剥离结构(8)一侧安装有电加热箱(9),所述电加热箱。

    本申请涉及半导体工艺技术领域,具体涉及一种剥离液机台及其工作方法。背景技术:剥离(lift-off)工艺通常用于薄膜晶体管(thinfilmtransistor)制程中的光罩缩减,lift-off先形成光阻并图案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同时,沉积在光阻上的膜层也被剥离,从而完成膜层的图形化,通过该制程可以实现两次光刻合并为一次以达到光罩缩减的目的。现有技术中,由于光阻上沉积了薄膜(该薄膜材料可以为金属,ito(氧化铟锡)等用于制备tft的膜层),在剥离光阻的同时薄膜碎屑被带入剥离液(stripper)中,大量的薄膜碎屑将会导致剥离液机台中的过滤器(filter)堵塞,从而导致机台无法使用,并且需要停止所有剥离液机台的工作,待将filter清理后再次启动,降低了生产效率。技术实现要素:本申请实施例提供一种剥离液机台及其工作方法,可以提高生产效率。本申请实施例提供一种剥离液机台,包括:依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱;过滤器,所述过滤器的一端设置通过***管道与当前级腔室对应的存储箱连接,所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上设置有阀门开关。在一些实施例中。剥离液的技术指标哪家比较好?

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    所述抽真空气体修饰法包括如下步骤:将将衬底和光刻胶抗粘剂置于密闭空间中,对密闭空间抽真空至光刻胶抗粘层气化,保持1分钟以上,直接取出衬底。进一步的改进,所述衬底为硅、氧化硅、石英、玻璃、氮化硅、碳化硅、铌酸锂、金刚石、蓝宝石或ito制成。进一步的改进,所述步骤(2)对衬底修饰的试剂包括hmds和十三氟正辛基硅烷;对衬底修饰的试剂镀在衬底表面。进一步的改进,所述所述光刻胶包括pmma,zep,瑞红胶,az胶,纳米压印胶和光固化胶。进一步的改进,所述光刻胶厚度为1nm-100mm进一步的改进,所述光刻胶上加工出所需结构的轮廓的方法为电子束曝光,离子束曝光,聚焦离子束曝光,重离子曝光,x射线曝光,等离子体刻蚀,紫外光刻,极紫外光刻,激光直写或纳米压印。进一步的改进,所述黏贴层为pdms,紫外固化胶,热释放胶,高温胶带,普通胶带,pva,纤维素或ab胶。上述选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法制备的微纳结构用于微纳制造,光学领域,电学,生物领域,mems领域,nems领域。本发明的有益效果在于,解决了现有负性光刻胶加工效率低,难于去胶,去胶过程中损伤衬底,对于跨尺度结构的加工过程中加工精度和效率的矛盾等问题。剥离液蚀刻后的样貌形态。半导体剥离液哪里买

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    其包含含有钾盐的第1液、和含有溶纤剂的第2液。再者,本发明涉及印刷布线板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法,其特征在于,在包括从施加有抗蚀剂的基材除去抗蚀剂的工序的印刷布线板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法中,使用上述抗蚀剂的剥离液进行抗蚀剂的除去。发明效果本发明的抗蚀剂的剥离液即使是微细的布线间的抗蚀剂也能细小地粉碎。因此,本发明的抗蚀剂的剥离液适合于包括从施加有抗蚀剂的基材除去抗蚀剂的工序的印刷布线板、半导体基板、平板显示器或引线框的制造方法。具体实施方式本发明的抗蚀剂的剥离液(以下,称为“本发明剥离液”)含有氢氧化钾和溶纤剂。本发明剥离液中的钾盐没有特别限定,例如,可以举出氢氧化钾、碳酸钾等。需要说明的是,钾盐中不含相当于后述的硅酸盐的硅酸钾。这些之中推荐氢氧化钾。另外,本发明剥离液中的钾盐的含量没有特别限定,例如,推荐,更推荐,特别推荐。本发明剥离液中使用的溶纤剂是指乙二醇的醚类,例如,可以举出异丙基溶纤剂、丁基溶纤剂、二甲基溶纤剂、苯基丁基溶纤剂、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、苯基溶纤剂、苄基溶纤剂、卡必醇溶纤剂、二乙基溶纤剂等。这些之中推荐异丙基溶纤剂。另外。南京BOE蚀刻液剥离液联系方式

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