湖南了解BOE蚀刻液联系方式

时间:2024年01月18日 来源:

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    此处所描述的具体实施例用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。参照图1,本实用新型实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统包括:电解槽1、射流器2、再生液调配缸3、液体泵4,其中,电解槽1具有一出液口和出气口,且电解槽1中内置有酸性蚀刻液,电解槽1对该酸性蚀刻液进行电解提铜,产生氯气,得到电解后液,并且,产生的氯气通过位于上方的出气口排出,电解后液通过位于下方的出液口排出。射流器2包括混气室21和扩散管22,混气室21和扩散管22之间为喉管,混气室21具有进气口2a、进液口2b、出液口2c,扩散管22连接至出液口2c,进气口2a通过导气管a与电解槽1的出气口连接以接收氯气,扩散管22深入到再生液调配缸3中。再生液调配缸3具有进液口和循环出液口,进液口通过管道b与电解槽1的出液口连接以接收电解后液。液体泵4的一端通过管道b连接再生液调配缸3的循环出液口,另一端通过管道b连接射流器2的进液口2b,用于将再生液调配缸3中的电解后液通过管道b抽取至射流器2的进液口2b。电解槽1电解提铜后,阳极产生的氯气通过导气管a进入到射流装置2的混气室21内,电解后液通过液体泵4打入到射流装置2的混气室21,在混气室21形成真空,在喉管处氯气与电解后液剧烈混合。

    所述的磷酸浓度为82-87%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,醇醚类的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,表面活性剂的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种;表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地,在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时,蚀刻温度为152-165℃,蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂,改善了磷酸的浸润性和表面张力,明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性,本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后,先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力;然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片,采用超纯水清洗和氮气吹干后,使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前,使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。哪家BOE蚀刻液的的性价比好。

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全球范围内,缓冲氧化物蚀刻液市场主要集中在北美、亚太以及欧洲等地区,其中亚太地区缓冲氧化物蚀刻液市场增速较快,在该区域内,中国、日本以及韩国是缓冲氧化物蚀刻液市场主要参与者。近年来,伴随全球产业向东转移,我国半导体、平板显示等产业规模不断扩大,这为缓冲氧化物蚀刻液行业发展提供了广阔空间。

从市场竞争方面来看,缓冲氧化物蚀刻液生产企业主要分布在欧美、日韩、中国及中国台湾等地区,相关生产企业包括德国巴斯夫、关东化学公司、美国Arch化学品公司、三菱化学、浙江凯圣氟化学、江阴江化微电子材料、台塑大金精密化学股份、江阴润玛电子材料等。 哪家公司的BOE蚀刻液是比较划算的?电子级BOE蚀刻液报价

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蚀刻是印制电路板制造的重要工序,电路板厂生产过程中产生大量高铜蚀刻废液,蚀刻废液属于危险液体废物,含有大量的铜、氯等污染成分,如果不经过严格的处理就直接排放到环境中,不仅造成资源的浪费和损失,而且也会对人类和自然环境造成很大的危害。

另外,蚀刻废液中的铜离子及氯离子也具有很高的回收价值,在当今资源日益紧缺且环境形势日益严峻的境况下,如何严格并妥当处理这么大产量的废液是个十分重要的问题。从上世纪50年代起,印制电路板的制作过程中便出现了化学蚀刻这一步,用化学蚀刻的方法将基材上布置线路所用的多余的铜蚀刻下去,从而使得线路凸显在板材上,使得它形成一个完整的电路回路的过程就叫做蚀刻工艺。工艺开始时,将一块完整的铜箔附着在基材上,将电回路刻画在其上,并用锡附着在其上,保证电回路不被蚀刻下来,保证这构成电回路的铜完整。化学蚀刻法已经成为了印制电路板过程的不可或缺的一步。现如今,应用于工业生产的蚀刻液应当具备的以下六点技术性能:1、蚀刻液要能保证抗蚀保护层或者抗电镀保护层的不被蚀刻的性能要求。2、蚀刻工艺条件(温度、外界环境等)范围宽,作业环境相对良好(不能有太多挥发性有毒气体),并且能够有效地实行自动 湖南了解BOE蚀刻液联系方式

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