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在硅片切割工艺中我们需要面对多项挑战,主要聚焦于线锯的生产力,也就是单位时间内生产的硅片数量。生产力取决于以下几个因素:1)切割线直径–更细的切割线意味着更低的截口损失,也就是说同一个硅块可以生产更多的硅片。然而,切割线更细更容易断裂。2)荷载–每次切割的总面积,等于硅片面积X每次切割的硅块数量X每个硅块所切割成的硅片数量。3)切割速度–切割台通过切割线切割网的速度,这在很大程度上取决于切割线运动速度,马达功率和切割线拉力。4)易于维护性–线锯在切割之间需要更换切割线和研磨浆,维护的速度越快,总体的生产力就越高。高新区硅片回收 伍征它的特点是高透光率、度、较好的机械性能、较长的使用寿命和稳定的化学性能。
线锯的发展史台实用的光伏切片机台诞生于1980年代,它源于CharlesHauser博士前沿性的研究和工作。CharlesHauser博士是瑞士HCT切片系统的创办人,也就是现在的应用材料公司PWS精确硅片处理系统事业部的前身。这些机台使用切割线配以研磨浆来完成切割动作。,主流的用于硅锭和硅片切割的机台的基本结构仍然源于CharlesHauser博士初的机台,不过在处理载荷和切割速度上已经有了的提高。切割工艺现代线锯的是在研磨浆配合下用于完成切割动作的超细度切割线。多可达1000条切割线相互平行的缠绕在导线轮上形成一个水平的切割线“网“。马达驱动导线轮使整个切割线网以每秒5到25米的速度移动。切割线的速度、直线运动或来回运动都会在整个切割过程中根据硅锭的形状进行调整。在切割线运动过程中,喷嘴会持续向切割线喷射含有悬浮碳化硅颗粒的研磨浆。
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